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金屬剝離濕法工藝設備

金屬剝離濕法設備
制造商:美國
主要功能:單晶圓濕法處理

  •        金屬剝離濕法設備在一個完全封閉的全自動系統(tǒng)中將浸沒式批浸泡處理和單晶片溶劑噴涂處理相結合。功能應用包括金屬剝離、光刻膠剝離,助焊劑去除等,用于Si 晶片和包括GaAs、InP、GaN、GaP 等III-V 系半導體、以及藍寶石、SiC 和玻璃晶片。

  •        干進干出,高壓流量,溶劑可回收,可編程,全自動運行,操作簡單。

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